煙臺工業氣體和混合氣體對配置裝置的要求

　　工業氣體同其他標準氣體制備不同的是，配制電子混合氣體的裝置似乎更為復雜，煙臺工業氣體電子混合氣體配氣裝置所用的管路必須是EP(電解研磨)級別，材質為316L，精密壓力表或壓力傳感器精度優于0.25級，材質316L。為確保配制裝置不產生污染使用前要求系統:正壓試驗1.5倍工作壓力，持壓30min;真空氦檢漏:≤10－9atm．cc/s;系統水分:≤－80℃;微量氧:≤10×10－9;顆粒物測定:≤1EA/ft3at0.1μm;≤5EA/ft3at0.05μm。為了防止產生顆粒物，裝置應配有耐高壓、耐腐蝕過濾器，如PALL產0.003μm不銹鋼燒結或PTFE(聚四氟乙烯)濾芯，并不定期對氣體過濾器的過濾效果進行評價和測量，當過濾效果下降，應立即更換濾芯或過濾器。

　　煙臺工業氣體等電子混合氣常用的平衡氣或稱底氣:N2、H2、He、Ar、O2;組分氣:PH3、SiH4、B2H6、Si2H6、GeH4、AsH3、TMB、BF3等，為了減少平衡氣體中有害雜質的含量，設有平衡氣體高壓凈化器，通過凈化平衡氣的純度大于99.9999%，在凈化器的出口設有在線H2O、O2檢測儀表，隨時反映凈化器出口氣體關鍵雜質的含量，這些凈化器內置氣體過濾器。由于組分氣體屬于劇毒或有毒化學品，吹掃氣、放空氣、真空泵排出氣不能排放大氣，化學法雖然能夠通過反應進行中和，

　　但由于涉及水溶液，因此，該法不是推薦方法，我們通常采用催化分解或燃燒的方法，可有效解決除AsH3以外的有毒氣體，AsH3處理只是由氣態有毒物變為固態而已。

　　為了避免交叉污染，工業氣體配氣設備的數量應根據業務情況確定，這一點十分重要，如配完B2H65%-H2混合氣，由于B2H6的化學特性，通過吹掃抽空很難在短時間內將吸附在系統內的殘存B2H6吹凈，若該系統再配制PH3混合氣，無疑將嚴重污染該氣體。由于它們同屬于摻雜氣體，稍有殘留將無法使用。

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